純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，通過多層過濾，可將微生物等有害物質去除，但同時也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質。

1.臭氧滅菌超純水處理

臭氧（o3）消毒原理是：臭氧在室溫、大氣壓力下，分子結構不穩(wěn)定，快速自分解氧（o2）和單個氧原子（o）；后者具有較強的活性，細菌具有強烈的氧化、殺滅、剩余氧原子將結合成普通氧原子（o2），沒有有毒殘留物，所謂沒有污染，不僅對各種細菌（包括病毒、大腸桿菌、大腸桿菌、綠色細菌和其他雜種細菌）具有很強的殺滅肝炎能力，而且對抗生素的殺滅也很有效。

①臭氧的滅菌機制及過程類屬于生物化學過程， 氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。

②直接與細菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細胞器，分解DNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生產和繁殖過程到破壞。

③滲透胞膜組織，侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發(fā)生通透畸變，導致細胞溶解死亡。并且將死亡菌體內遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細菌病毒代謝產物、內毒素）等溶解變性滅亡。

2.活性炭吸附純水處理工藝

活性炭依靠吸附和過濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機物雜質。

3.薄膜微孔過濾（MF）純水處理工藝

膜微孔過濾包括三種形式:深度過濾、篩網過濾和表面過濾。深層過濾是由機織纖維或壓縮材料制成的基質，利用惰性吸附或捕獲來保留顆粒，如常用的多介質過濾或砂濾；深度過濾是一種經濟的方法，可以去除98%以上的懸浮物，保護下游凈化單元免受堵塞，因此通常用作預處理。表面過濾是一種多層結構。溶液通過膜時，會留下比膜內孔大的顆粒，主要堆積在膜表面，如常用的PP纖維過濾。表面過濾可以去除99.9%以上的懸浮固體，因此也可以用作預處理或澄清。

篩網過濾器基本上是一個一致的結構，就像篩網一樣，在表面留下比孔徑大的顆粒（過濾器的孔徑是非常準確的），例如在超純水機的末端使用的安全過濾器；篩網過濾器通常放在凈化系統(tǒng)的最終使用點，以去除殘留的微碎屑、碳屑、膠體和微生物。

4.離子交換（IX）純水處理工藝

離子交換法的原理是將水中的無機鹽陰陽離子如鈣離子Ca2+、鎂離子Mg2+、硫酸鹽SO42-、硝酸鹽NO3-等，通過與離子交換樹脂交換，使水中的陰、陽離子與樹脂中的陰陽離子相交換，從而使水得到純化。

5.反滲透（RO）純水處理工藝

它是一種以壓力為驅動力，利用反滲透膜只能透過水而不能溶質的選擇性，從含有各種無機物、有機物和微生物的水中提取純水的物質分離過程。反滲透膜孔徑小于10埃(1埃等于10-10米)，具有很強的篩選作用，脫鹽率高達99%，殺菌率在99.5%以上。它能去除水中的無機鹽、糖類、氨基酸、細菌、病毒等雜質。如果以原水水質和采出水水質為基準，RO是經過適當設計的一種經濟有效的凈化自來水的方法，也是超純水系統(tǒng)的一種很好的預處理方法。

6.超過濾（UF）純水處理工藝

微孔膜根據過濾孔徑的大小去除顆粒，而超濾膜就像分子篩一樣，根據孔徑大小來劃分溶液中不同大小的分子同大小的分子。超濾膜是一種堅硬、薄、有選擇性、透明的膜，通常被認為能過濾大約0.01m的孔徑，能夠截留特定大小的分子，包括膠質、微生物和熱源。小分子，如水和離子，可以通過濾膜。

7.紫外線(UV)、臭氧滅菌超純水處理工藝

采用紫外燈所放射出來的254nm/185nm的紫外線可以有效的殺死細菌和降解有機物。

8.EDI純水處理工藝

一種新的去離子水處理方法。又稱連續(xù)電除鹽技術，EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。這種方法不需再用酸堿對樹脂進行再生，環(huán)保性好。